應用領域
Application field
聯(lián)系我們
contact us
全國服務熱線:0769-83002589
聯(lián)系人:18938561701(微信同號)
郵箱:vicky.liu@sz-kimberlite.com
總部:深圳市寶安區(qū)沙井街道和一西部創(chuàng)業(yè)工業(yè)園區(qū)D棟4樓
生產(chǎn)基地:廣東省東莞市茶山鎮(zhèn)茶山金山路東茂智造園2棟303
等離子刻蝕技術可實現(xiàn)各向同性刻蝕和各向異性刻蝕,不同于濕法刻蝕,等離子刻蝕屬于干法刻蝕,可實現(xiàn)在材料表面即發(fā)生物理反應同時也發(fā)生化學反應。
等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。
等離子刻蝕的原理可以概括為以下幾個步驟:
● 在低壓下,反應氣體在射頻功率的激發(fā)下,產(chǎn)生電離并形成等離子體,等離子體是由帶電的電子和離子組成,反應腔體中
的氣體在電子的撞擊下,除了轉(zhuǎn)變成離子外,還能吸收能量并形成大量的活性基團(Radicals)
● 活性反應基團和被刻蝕物質(zhì)表面形成化學反應并形成揮發(fā)性的反應生成物
● 反應生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面,并被真空系統(tǒng)抽出腔體。
在平行電極等離子體反應腔體中,被刻蝕物是被置于面積較小的電極上,在這種情況,一個直流偏壓會在等離子體和該電極間形成,并使帶正電的反應氣體離子加速撞擊被刻蝕物質(zhì)表面,這種離子轟擊可大大加快表面的化學反應,及反應生成物的脫附,從而導致很高的刻蝕速率,正是由于離子轟擊的存在才使得各向異性刻蝕得以實現(xiàn)。
等離子體刻蝕處理的材料表面進行處理,活化,激活,提高表面附著力,全自動運行,可24小時連續(xù)工作,無需人工看管等離子體刻蝕處理效果非常均勻穩(wěn)定.